质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念

     质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门，阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，在工作的过程当中，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1～0.3MPa，若压差低于值(0.1 MPa)，有可能控制达不到满量程值;若高于值(0.3MPa)，有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时，无论用户工作的反应室是真空还是高压，应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内，并且要求气压要相对稳定。
　　部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源，气压很低，用普通MFC，不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明，定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC，这时MFC的工作压差范围，也会变小。注意使用挥发性液体蒸发汽时，不能让汽化物在MFC中结露，结露会影响MFC的正常工作。为了防止结露，可以对管路和MFC适当加温，但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上，需要特殊购买高温MFC产品。